LCDパネル、太陽電池、半導体パッケージングおよび試験、バイオ医薬品、食品包装などの製造におけるクリーンルーム環境での使用に限定されます。
繰り返し精度:±0.04mm 水平荷重:45kg リード:40mm 最大速度:2000mm/s ストロークピッチ:100~3650mm