LCD パネル、太陽電池、半導体パッケージングおよびテスト、バイオ医薬品、食品パッケージの製造など、クリーンルーム環境での使用に限定されます。
繰り返し精度:±0.01mm水平荷重:50kg垂直荷重:15kg最大速度:1000mm/s移動範囲:50~1050mm