LCD パネル、太陽電池、半導体のパッケージングとテスト、バイオ医薬品、食品の包装などの製造など、クリーンルーム環境での使用に厳密に適しています。
繰り返し精度:±0.01mm 水平荷重:50kg 垂直荷重:15kg 最大速度:1000mm/s 移動範囲:50~1050mm